Autorzy | |
Wydawnictwo | Springer, Berlin |
Data wydania | |
Liczba stron | 288 |
Forma publikacji | książka w twardej oprawie |
Język | angielski |
ISBN | 9783030232986 |
Kategorie | Urządzenia i materiały elektroniczne |
Flash Lamp Annealing: From Basics to Applications
Introduction.- Technological background.- Basic components.- Flash lamps.- Process management and process control.- FLA assisted deposition.- Temperature.- Thermal budget.- Temperature measurements.- Temperature simulations.- FLA for semiconductors.- Defect engineering.- Doping.- Crystallization.- Semiconductor nanostructures.- Beyond semiconductors.- Transparent conducting oxides.- Metallic films.- High-k materials and dielectrics.- Flexible substrates.- Outlook.