ABE-IPSABE HOLDINGABE BOOKS
English Polski
Dostęp on-line

Książki

0.00 PLN
Schowek (0) 
Schowek jest pusty
Handbook of VLSI Microlithography

Handbook of VLSI Microlithography

Autorzy
Wydawnictwo William Andrew Publishing
Data wydania 01/07/2010
Wydanie Pierwsze
Liczba stron 680
Forma publikacji książka w twardej oprawie
Poziom zaawansowania Dla profesjonalistów, specjalistów i badaczy naukowych
Język angielski
ISBN 9780815512813
Kategorie Obwody i komponenty
21.00 PLN (z VAT)
$4.72 / €4.50 / £3.91 /
Produkt dostępny
Dostawa 2 dni
Ilość
Do schowka

Opis książki

Offers a look at the entire technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings - including optical lithography, electron beam, ion beam, and x-ray lithography.

Handbook of VLSI Microlithography

Spis treści

Issues and Trends Affecting Lithography Tool Selection Strategy

Resist Technology u Design, Processing, and Applications

Lithography Process Monitoring and Defect Detection

Techniques and Tools for Photo Metrology

Techniques and Tools for Optical Lithography

Microlithography Tool Automation

Electron-Beam ULSI Applications

Rational Vibration and Structural Dynamics for Lithographic Tool Installations

Applications of Ion Microbeams Lithography and Direct Processing

X-Ray Lithography

Part I

Part II

Acknowledgment

References

Index

Polecamy również książki

Strony www Białystok Warszawa
801 777 223